I-Heating Co, Ltd(후쿠오카현 이토시마시 소재)와 공동 개발한 유도 가열 증착 소스 IHES™ 판매를 시작합니다
"IHES™(유도 가열 증착원)"
자사의 EV-ALL® 도가니(재료 투입량, 시간 경과에 따른 변화, 성막 속도에 관계없이 분포 형태를 안정시키는 특성을 가짐)와 (주)아이히팅의 유도 가열 방식을 결합한 증발원입니다 이는 필름 두께 및 평면 내 필름 두께 분포의 매우 높은 재현성을 제공할 뿐만 아니라 도가니 온도 및 필름 형성 속도에 대한 응답성 높은 제어를 제공합니다
도입의 세 가지 이점
1 장치 제작 시간 단축
2 장치 제조 중 재료 소비 감소
3 극소량의 재료로 소자 제작 가능
자세한 정보를 보려면 여기를 클릭하세요(전단지)
또한, 제34차 유기EL포럼 정례회의(2022년 6월 30일)에서는 '유기EL소자 제조용 소형 유도가열 증발원 개발''이라는 주제로 종합강의를 진행하였습니다
자세한 내용을 보려면 여기를 클릭하세요
연락처 정보
진공/메카트로닉스 장비 사업부 운영부
전화: 0836-72-3177
메일：mechatro@choshucojp