易游体育 口罩检测设备
口罩检测系统
NPI-8000
掩模检测设备NPI-8000和NPI-8000V是高精度检查尖端光掩模缺陷的设备。
功能
- 1) 配备最先进的短波长199nm激光器
- 2) 实现60分钟内高速测试
- 3) 配备先进的应用程序,例如提高实用灵敏度的功能
规格
| 面罩尺寸 | 6英寸 |
|---|---|
| 光源波长 | 199nm |
| 吞吐量 | 60分钟 |
发展路线图
掩模检查设备是一种快速检查使用电子束掩模写入设备绘制和制造的电路母版(光掩模)的设备。在我们公司,我们还在开发适用于 5 纳米及更高代设备的掩模检测设备,同时密切关注光刻技术的未来趋势,包括对 EUV 光刻和纳米压印技术的支持。