yy易游官方网站 多电子束掩模写入系统MBM™-2000PLUS
兼容3nm+节点
MB 掩码写入器
MBM™-2000PLUS
这是多电子束掩模光刻系统，支持3nm+节点尖端掩模的批量生产。
功能
- 1) 超过26万束电子束的高速、高精度控制
- 2) 使用支持曲线的MBF20数据格式高速绘制复杂图案
- 3) 由高速数据路径控制的消隐孔径阵列
规格
| 面罩尺寸 | 6英寸 |
|---|---|
| 位置精度 | 13nm(3σ) |
| 尺寸精度 | 065nm(3σ) |
兼容3nm+节点
MB 掩码写入器
MBM™-2000PLUS
这是多电子束掩模光刻系统，支持3nm+节点尖端掩模的批量生产。
| 面罩尺寸 | 6英寸 |
|---|---|
| 位置精度 | 13nm(3σ) |
| 尺寸精度 | 065nm(3σ) |