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我们的主营业务是半导体制造设备的研发、制造和销售，专注于电子束掩膜刻写设备、外延生长设备、掩膜检测设备三大产品。

电子束掩模写入设备是以精密机械控制、大规模数据处理、激光测量技术等多样化、高度专业化的基础技术为核心技术，集成了电子束写入控制技术的设备，用于LSI（大规模集成电路）制造过程中电路母版（光掩模）的写入和制造。

外延生长设备是以气体控制技术为核心技术，在硅片、SiC片上生长硅、GaN、SiC等单晶的设备。