yy易游体育app HT2000FD单晶厚膜外延长设备
HT2000FD 8”
单晶圆外延反应器
HT2000FD低质书本成型高品质外膜，高性能机械高效率减少低质书本生产报价。通过垂直高速旋转的气流晶体片，能够高速连续生产，膜厚150μm以上，效率高，并具有独特的长效特性。
超厚膜高速生长
在170微米的超厚膜上以85微米/分钟的速度高速生长，并且均匀性小于±1%。
特别积分
生产效率高
- 渐进膜厚150μm以上
- 8μm/min以上的真正高速生长
节ノ
- 120kVA以下低功耗
利用效率高
- 20-30% 源能源利用效率
- 小配件
高质量数量
- 膜厚150μm以上
- ±15%以下优异的膜厚均匀性
- 粘连率均匀度±30%以下
