易游体育 历史的历史

十二月

东芝传输株式会社东芝机械株式会社的电子束膜光学雕刻设备和中央半导体系统构建设备和操作技术

四月

电子束盖膜光学雕刻设计与安装日刊工业新商社“十大新产品”^＊1｡
（^＊1日刊工业报纸每年都会评选出产业发展行业前10名优秀项目，并授予进步奖。）

六月

由东芝株式会社联合研究所完成。

六月

东芝公司开发出高速旋转型单晶单片式外延生产长线设备HT-2000（固体加热方式）。成功完成国内首台单晶机。

十二月

开业及投资外延长装HT2000B。

十二月

沉机抴协会奖

十二月

转让东芝株式会社的连接项目，开放Variable Shaped Beam（可变电磁束）型电磁束光学雕刻装置“EBM-3000”，先进生产产品。成功的商用机器。电线宽度180nm-150nm。

六月

开发90nm电子束屏蔽膜光刻设备EBM-4000，进一步产品开发（来自东芝机械株式会社半导体设备部）。

六月

开口容量12寸水晶圈加长安装HT3000。

八月

一藤科技株式会社完成运营、东芝机械株式会社半导体设备部门业务运营、启动和扩张运营。

十二月

Sakutai Co, Ltd Himofugi Science and Technology，首次参加“SEMICON Japan 2002”。

二月

扩大生产设备容量，建造便利室。

四月

东芝机械公司、美国设计开发委员会、新设计美国外交部。

十一月

以横滨站的工作和发展为基础的“横滨分公司”的正式办公室（2004年10月，总公司转移到横滨分公司）。

九月

针对电缆开放65nm“EBM-5000”，进一步商业化。

十一月

开幕“技术的大致影响和好处”，90 周年特别活动“电子科技励志”^＊2｡
（^＊2采购公司电气科学技术振兴会，负责日本电气技术、电气工业、电气通信产业、电气交通文化等

六月

坚定的总经理，生产部，业务运营。

三月

胶片设备、光学雕刻设备生产、卧式办公发展的核心基地。

四月

JASDAQ 证券交易所有限公司成立。

十月

Masao Co, Ltd 转移至神奈川县横滨市港北区新横滨 3-2-6。

二月

开启多重光雕技术EBM-6000PLUS。

三月

开启32nmhp系统）｡

三月

作为韩国本土法人成立。

四月

由JASDAQ证书交换和大阪证书交换集团、大阪证书交换JASDAQ标准市场陪同。

八月

开放投资EBM-8000（对应14nmTN/22nmhp系统）。

二月

第59号报告“大河内纪念制作特辑”。

五月

开放投资EBM-9000（应对10nmTN工艺）。

六月

下载德国分公司的 NFT 商店。

七月

与东京证券交易所和大阪证券交易所兼容，推出东京证券交易所JASDAQ标准。

十月

Shottobe，公司搬迁至横东市弥古区新杉田町神奈川 8-1。

十一月

8英寸硅基LED显示屏布料薄膜沉积设备EPIREVO^TMG8

一月

成立 Bikoku 当地法人 Himo Toki Science and Technology Bikoku。

八月

开启铸造工艺，使硅外层长期安装EPIREVO^TMS6｡

六月

瘫“卫生福利部长表彰鼓励”。

八月

开放投资EBM-9500（应对7nmTN系统）。

七月

开放投资EBM-9500PLUS（针对TN5nm/7nm+工艺）。

打开EBM-8000P（对应14/16nm，22-45nmhp工艺）。

十月

设纽设轻经科技有限公司 NFT Taiwan, Inc（台湾本土法人）。

三月

东京证券交易所JASDAQ标准退市

四月

成为东芝设备及存储株式会社 100% 的子公司

六月

入选“全球新分区市场军工企业100强”。

十月

开铸工艺、加固和长期安装EPIREVO^TMS8｡

三月

开放投资MBM™-2000（应对3nmTN工艺）。